定義:質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,簡稱MFC)是一種用于精確控制氣體質(zhì)量流量的儀器。它直接測量并控制通過管道或系統(tǒng)的介質(zhì)質(zhì)量流量,而無需考慮溫度、壓力等外部條件的變化,確保了流量控制的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。原理:質(zhì)量流量控制器的工作原理基于質(zhì)量守恒定律,其核心組成部分包括流量傳感器、控制閥和控制器。流量傳感器負(fù)責(zé)測量被控制介質(zhì)的質(zhì)量流量,并將測量結(jié)果轉(zhuǎn)化為電信號傳遞給控制器???/div>
2024-12-13