MFM毛細管熱質量流量計,直接測量較低流量范圍內的清潔氣體和混合氣體的質量流量。
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
低壓損可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
| 滿量程 | 高 | 寬 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.82 kg |
| 4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
| 100 slpm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1 kg |
| 5.43 in | 3.22 in | 1.496 in | 2.440 in | 1.181 in | 0.157 in | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.21 lb |
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